Entdecken Sie, wie camLine SmartSPC die fortschrittliche Datenberechnung nutzt, um die Run-to-Run-Steuerung zu automatisieren und so die Präzision, den Ertrag und die Effizienz in der Hightech-Fertigung zu verbessern.
Wenn Sie in der High-Tech-Fertigung gearbeitet haben, wissen Sie, wie wichtig eine strenge und reaktionsschnelle Prozesskontrolle ist. Kleine Schwankungen im Verhalten der Anlagen, bei den Rohstoffen (einschließlich chemischer Stoffe) oder bei Umweltfaktoren wie der Temperatur können die Produktion beeinflussen und sich auf Ertrag und Qualität auswirken.
SmartSPC unterstützt Hersteller durch die Automatisierung der Run-to-Run-Steuerung (R2R) und hilft, diese Variablen mit weniger manuellen Eingriffen zu verwalten.
Um zu verstehen, wie SmartSPC funktioniert, ist es nützlich, sich die Schlüsselkomponenten anzusehen und zu sehen, wie sie zusammenarbeiten, um eine automatisierte Prozesssteuerung zu ermöglichen.
Eine wirksame R2R-Steuerung beginnt mit genauen und zeitnahen Daten aus Ihrem Produktionsprozess. LineWorks SPACE sammelt Daten von Produktionslinien in Echtzeit und verarbeitet messtechnische, prozessbezogene und von der Steuerung berechnete Daten. Es stellt sicher, dass die Daten validiert und für die Analyse bereit sind.
LineWorks RM verwaltet Ihre Rezepte - die detaillierten Anweisungen, denen Ihre Anlagen folgen. Es speichert alle wichtigen Parameter und Konstanten übersichtlich in so genannten Recipe Objects (ROBs), die Rückverfolgbarkeit und einfache Aktualisierungen gewährleisten.
Die Advanced Calculation Option (ACO) ist eine Schlüsselkomponente von LineWorks SPACE, die eine automatische Prozessabstimmung durch erweiterte Datenberechnungen zur Parameteroptimierung ermöglicht. Diese Berechnungen sind für jeden spezifischen Anwendungsfall konfigurierbar.
Recipe Objects (ROBs), die in LineWorks RM verwaltet werden, speichern kritische Prozess- und Anlagenparameter und rufen optimierte Parameterwerte für Rezeptanpassungen ab.
Der RM Integration Layer (RIL) fungiert als Bote und sorgt dafür, dass alle Aktualisierungen und Berechnungen zwischen LineWorks SPACE, LineWorks RM und Ihren Anlagensteuerungen reibungslos ablaufen.
Das Equipment Interface (EI) verbindet SmartSPC mit den Fertigungsanlagen und ermöglicht Echtzeit-Updates von Prozessparametern über verschiedene Hersteller und Anlagentypen hinweg. Es ist für den direkten Datenaustausch mit Ihren Prozess- und Messgeräten unerlässlich.
Die R2R-Steuerung ist eine kontinuierliche Rückkopplungsschleife, die die Prozessparameter auf der Grundlage von Produktionsdaten anpasst.
Ihre Prozessingenieure legen die Schlüsselparameter fest und definieren, wie sie sich zueinander verhalten, um die Steuerung zu optimieren. Es ist wie die Erstellung einer intelligenten Karte Ihres Prozesses, in der skizziert wird, was sich wie ändern kann.
Zu diesen Parametern können je nach Prozess Belichtungsdosis, Fokuseinstellungen, Temperatur, Druck oder chemische Konzentrationen gehören.
Während der Produktion erfasst LineWorks SPACE die Daten jedes Laufs und leitet sie nach dem Herausfiltern von Rauschen und Ausreißern zur Berechnung an ACO weiter. Die berechneten Ergebnisse werden dann auf das zuvor definierte Modell angewendet.
ACO wertet die Daten mithilfe seiner Modelle aus und bestimmt, was genau optimiert werden muss. Über die Rezepturverwaltung in LineWorks RM und RIL werden diese Anpassungen dann für den nächsten Produktionslauf an Ihre Anlagen gesendet.
Diese Rückkopplungsschleife gleicht Prozessschwankungen aus, die durch Änderungen des Anlagenzustands, Materialschwankungen oder Umweltfaktoren verursacht werden.
Da Hightech-Fertigungsprozesse immer komplexer werden, reichen klassische Regelungsmethoden mit nur einer Variablen nicht mehr aus. Herkömmliche SPC-Ansätze beruhen oft auf manueller Abstimmung und sequenziellen Anpassungen einzelner Parameter, was langsam und wenig effektiv sein kann.
Aus diesem Grund wurde SmartSPC mit integrierten Vorwärts- und Rückkopplungsregelungsmechanismen entwickelt. Es bestimmt automatisch das optimale Rezept für jeden Wafer, indem es sowohl die Eigenschaften der eingehenden Wafer als auch den aktuellen Zustand der Produktionswerkzeuge berücksichtigt.
SmartSPC zeichnet sich aus durch:
Hier erfahren Sie mehr über die Kernkomponenten von SmartSPC und seine Möglichkeiten
Durch den Einsatz von SmartSPC können High-Tech-Hersteller konsistentere Prozesse mit weniger manuellen Eingriffen erreichen. Verbesserungen der Prozessfähigkeit (Cpk), geringere Fehlerraten und schnellere Reaktionen auf Produktionsänderungen sind häufige Ergebnisse.
Das System unterstützt Bediener und Prozessingenieure durch rechtzeitige, datengestützte Anpassungen, die zu einer stabilen, effizienten und vorhersehbaren Produktionsleistung beitragen.
SmartSPC kombiniert die Echtzeit-Datenerfassung von LineWorks SPACE mit der Rezepturverwaltung von LineWorks RM und fortschrittlichen Berechnungsfunktionen, um eine automatisierte R2R-Prozesssteuerung zu ermöglichen. Dieser integrierte Ansatz hilft Herstellern, Prozessschwankungen effizient zu bewältigen und gleichzeitig eine gleichbleibende Produktionsqualität und -standards zu gewährleisten.
