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SmartSPC-Lösung

Run-to-Run (R2R)-Kontrollsystem für die automatische Prozessabstimmung in der Halbleiterfertigung.

Operative Exzellenz mit SmartSPC erreichen

SmartSPC ist das integrierte, modulare, automatisierte Prozesssteuerungssystem von camLine, das für die Run-to-Run-Steuerung in der High-Tech-Fertigung entwickelt wurde. Durch die Kombination der leistungsstarken statistischen Prozesskontrolle von LineWorks SPACE mit dem robusten Rezepturmanagementsystem von LineWorks RM automatisiert SmartSPC die Prozessabstimmung und sorgt für beispiellose Präzision und Konsistenz.

Erkunden Sie die SmartSPC-Kernkomponenten
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Wir sind hier, um Ihnen zu helfen, hervorragende Leistungen in der Fertigung zu erzielen. Kontakt camLine

Weltweites Vertrauen bei führenden Herstellern

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Bewältigung von Herausforderungen bei der Prozesssteuerung in der High-Tech-Fertigung

In der Hightech-Fertigung, insbesondere in Sektoren wie der Halbleiterindustrie, wird häufig auf feste Prozessrezepte in Kombination mit der traditionellen statistischen Prozesskontrolle zurückgegriffen. Dies kann zu manuellen Eingriffen und reaktiven Anpassungen führen, was zu langsameren Reaktionen, mehr Ausschuss und suboptimalen Produktionsergebnissen führt.

Um sich in der Fertigung hervorzutun, ist ein höheres Maß an Präzision und Genauigkeit unerlässlich, was eine strengere Prozesssteuerung erfordert. Die automatisierte Prozesssteuerung wird daher zu einer entscheidenden Komponente zur Verbesserung von Leistung, Ausbeute, Durchsatz und Flexibilität, indem Run-to-Run-, Wafer-to-Wafer-, In-Wafer- und Echtzeit-Prozesssteuerungsstrategien eingesetzt werden.

Automatisiertes System zur Prozessoptimierung und -steuerung

Kernbestandteile

SmartSPC automatisiert die Prozessoptimierung durch die Integration von LineWorks SPACE, LineWorks RM und anderen Komponenten wie Advanced Calculation Option (ACO) und Recipe Objects (ROBs). Mithilfe von Echtzeitdaten und fortschrittlichen Berechnungen optimiert es die Prozessparameter für schnellere und genauere Anpassungen. Auf diese Weise lassen sich bessere Prozessergebnisse erzielen, eine konstante Produktqualität aufrechterhalten und die Produktionsausbeute und -effizienz verbessern.

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SmartSPC-Architektur: Kernkomponenten

  • Das leistungsstarke SPC-Werkzeug für umfassende Datenerfassung und fortschrittliche Berechnungen, das messtechnische, prozessbezogene und von der Steuerung berechnete Daten verarbeitet.

    LineWorks SPACE kennenlernen

  • Für eine robuste Rezepturverwaltung, die Prozessintegrität und präzise Parametersteuerung gewährleistet.

    LineWorks RM erkunden

  • Eine Schlüsselkomponente von LineWorks SPACE, die eine automatische Prozessabstimmung durch erweiterte Datenberechnungen zur Parameteroptimierung ermöglicht.

  • Eine Schlüsselkomponente von LineWorks RM, die optimierte Parameterwerte in Echtzeit für Rezepturanpassungen abruft.

  • Der RM Integration Layer (RIL) ermöglicht die robuste und nahtlose Integration zwischen LineWorks RM und LineWorks SPACE und bildet das Rückgrat des effizienten R2R-Regelkreises.

  • Integrationspunkt für den Echtzeit-Datenaustausch mit Ihren Prozess- und Messgeräten.

3-stufiges Verfahren

Wie SmartSPC die R2R-Kontrolle automatisiert

SmartSPC verbessert die R2R-Steuerung durch seinen intelligenten 3-stufigen Prozess, der die automatische Prozessabstimmung zwischen den Produktionsläufen durch die Verwendung von Daten aus früheren Läufen erheblich vorantreibt.

  • Modellierung:

    Der entscheidende erste Schritt besteht in der Definition und Einstellung der wichtigsten Prozessparameter und Berechnungen, die für eine optimierte Steuerung erforderlich sind.

  • Datenerfassung in Echtzeit:

    Unter Verwendung von ACO aus LineWorks SPACE sammelt SmartSPC präzise Produktionsdaten und wendet sie auf das zuvor definierte Modell an.

  • Prozess-Feedback:

    Die Auswertung der berechneten Ergebnisse des Modells, um festzustellen, ob das Produktionsergebnis den gewünschten Zielen entspricht, und um gegebenenfalls Anpassungen vorzunehmen.

Lesen Sie mehr in unserem SmartSPC-Blogbeitrag
3-stufiges Verfahren

Wie SmartSPC die R2R-Kontrolle automatisiert

SmartSPC verbessert die R2R-Steuerung durch seinen intelligenten 3-stufigen Prozess, der die automatische Prozessabstimmung zwischen den Produktionsläufen durch die Verwendung von Daten aus früheren Läufen erheblich vorantreibt.

  • Modellierung:

    Der entscheidende erste Schritt besteht in der Definition und Einstellung der wichtigsten Prozessparameter und Berechnungen, die für eine optimierte Steuerung erforderlich sind.

  • Datenerfassung in Echtzeit:

    Unter Verwendung von ACO aus LineWorks SPACE sammelt SmartSPC präzise Produktionsdaten und wendet sie auf das zuvor definierte Modell an.

  • Prozess-Feedback:

    Die Auswertung der berechneten Ergebnisse des Modells, um festzustellen, ob das Produktionsergebnis den gewünschten Zielen entspricht, und um gegebenenfalls Anpassungen vorzunehmen.

Lesen Sie mehr in unserem SmartSPC-Blogbeitrag
SmartSPC Landing Page_graphic_R2R Steuerung

Die wichtigsten Vorteile der automatisierten Prozessoptimierung mit SmartSPC

Während sich die traditionelle SPC in erster Linie auf die manuelle Abstimmung konzentriert, um Produkte, die außerhalb der Spezifikation (OOS) oder der Kontrolle (OOC) liegen, sowie den Ausschuss zu reduzieren, erreicht SmartSPC diesen Wandel, indem es die Prozesskontrolle durch automatische Echtzeitanpassungen konsequent vorantreibt.

Rationalisierte Abläufe

Die automatisierte Prozessabstimmung durch integrierte ACO- und ROB-Systeme gewährleistet optimale Produktionsergebnisse auf effiziente Weise.

Optimierte Rezepturverwaltung

Dank der über SmartSPC einstellbaren Parameter und der Integration mit LineWorks RM werden Rezepturanpassungen automatisch auf der Grundlage von Echtzeitdaten vorgenommen.

Reduzierte Defekte

Minimieren Sie Prozessabweichungen und -schwankungen zwischen den einzelnen Läufen, was zu geringeren Fehlern und höheren Ausbeuten führt.

Verbesserte Qualität

Konstante Einhaltung hoher Produktqualitätsstandards bei jeder Charge durch optimierte Werkzeugrezeptparameter.

Erhöhte Prozessfähigkeit (Cpk)

Verbessern Sie Cpk durch Aufrechterhaltung der Prozessstabilität durch sofortige Feinabstimmung und Minimierung der Variabilität.

Lassen Sie uns über Lösungen diskutieren

Sprechen Sie mit unserem Experten

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Unser Team ist bereit, maßgeschneiderte MES/MOM-Lösungen zu liefern, die Ihre Produktion rationalisieren, die Produktqualität verbessern und die Effizienz in Ihrem Betrieb maximieren. Nutzen Sie die jahrzehntelange Erfahrung von camLine in der digitalen Transformation, um Ihre Herausforderungen in der Fertigung zu meistern.

Erweiterte technische Fähigkeiten

SmartSPC basiert auf einer robusten Architektur, die für die Komplexität der modernen Fertigung entwickelt wurde und unvergleichliche Flexibilität und Kontrolle bietet.

Erweiterte Berechnungsoption (ACO)

Zu den fortschrittlichen Funktionen von ACO aus LineWorks SPACE gehören:

  • Autocharting-Automatische Darstellung von berechneten und Zwischenparametern durch Erstellung von Kanälen auf der Grundlage einer definierten Populationshierarchie.
  • Aufruf der Anwendungsprogrammierschnittstelle (API) zum Abrufen von Stichproben unter Verwendung der Population-Lookup-Logik.
  • Abruf von Parameterwerten oder Gerätekonstanten aus RMS.

Rezeptur-Objekte (ROBs)

ROBs von LineWorks RM bieten unter anderem folgende Schlüsselfunktionen:

  • Speicherung von Prozessparametern und Anlagenkonstanten, die in Berechnungen während der automatischen Prozessabstimmung verwendet werden.
  • Definition von SmartSPC-Abstimmungsparametern und Konfiguration, um zu bestimmen, wie sich SmartSPC verhält.
  • Eindeutiger Abgleich mit dem entsprechenden SPC-Kanal für eine präzise Prozesssteuerung.
camLine
Weltweit führender Anbieter von MES/MOM-Lösungen

SmartSPC verbessert die Prozessfähigkeit (Cpk) erheblich und unterstützt eine stabilere, effizientere und besser vorhersehbare Fertigungsleistung.

Warum camLine MES/MOM-Lösungen

Als Ihr Partner bieten wir qualitätsorientierte MES/MOM-Lösungen, die Daten in einen Wettbewerbsvorteil für die High-Tech-Industrie verwandeln.

350+ Kunden

Weltweit vertrauen über 350 Kunden aus verschiedenen High-Tech-Branchen auf uns.

Über 40 Länder werden bedient

Wir unterstützen Hersteller in über 40 Ländern weltweit dabei, Wachstum und Spitzenleistungen zu erzielen.

Mehr als 35 Jahre Erfahrung

Wir liefern bewährte Softwarelösungen für die Fertigung, von Pilotprojekten an einem Standort bis hin zu globalen Einführungen an mehreren Standorten.

Modular und skalierbar

Modulare MES-Systeme mit flexiblen Modulen, die schrittweise implementiert und bei wachsendem Betrieb erweitert werden können.

Branchenspezifische Editionen

Maßgeschneiderte MES/MOM-Lösungen für verschiedene Branchen, darunter Solar-, Batterie-, Halbleiter- und Medizintechnik.

Flaggschiff LineWorks SPACE

LineWorks SPACE ist die Grundlage von camLine MES und unterstützt die Qualitätssicherung und die erweiterte Prozesssteuerung.

Diskutieren Sie mit den Experten von camLine über Lösungen

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