Übersicht
In der Halbleiter- und Elektronikfertigung nimmt die Komplexität der Prozesse weiter zu, da die Produkte immer kleiner werden, die Toleranzen immer enger werden und die Anlagen immer größere Datenmengen erzeugen.
Herkömmliche Qualitätsmessungen sind nach wie vor unverzichtbar, liefern jedoch oft erst nach Abschluss eines Prozesses Aufschluss über dessen Verlauf. Aufkommende Probleme mit den Anlagen, Prozessabweichungen und abnormale Betriebsbedingungen können verborgen bleiben, bis sie sich auf die Produktqualität, die Ausbeute oder den Durchsatz auswirken.
